17:15 〜 17:30
〇久保田 智広1、伊藤 寿2、久保 百司2、寒川 誠二1,3 (1.東北大流体研、2.東北大金研、3.東北大WPI-AIMR)
久保田 智広
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 14:30 〜 17:45 W621 (西6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.4 プラズマエッチング
2016年3月21日(月) 13:30 〜 15:30 P5 (屋内運動場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.4 プラズマエッチング
13:30 〜 15:30
〇久保田 智広1、菊地 良幸2、伊藤 寿3、久保 百司3、寒川 誠二1,4 (1.東北大流体研、2.東京エレクトロン(株)、3.東北大金研、4.東北大WPI-AIMR)