10:45 〜 11:00 [21a-W541-7] ホモエピタキシャル成長低ドープn型GaNの深さ方向ドナー密度分布解析における深い準位の影響 〇須田 淳1、堀田 昌宏1、前田 拓也2、澤田 直暉1、木本 恒暢1 (1.京大院工、2.京大工)