10:00 〜 10:15 [20a-H101-5] 4H-SiC溶液成長におけるステップ形状によるTED変換率向上 〇関 和明1、楠 一彦1、海藤 宏志1、森口 晃治1、亀井 一人2 (1.新日鐵住金、2.早稲田大学)