13:30 〜 15:30 [21p-P10-9] SiNx膜レーザーアブレーションによる4H-SiCへの窒素ドーピングと窒素拡散機構に関する研究 〇小島 遼太1、池上 浩1、諏訪 輝1、池田 晃裕1、中村 大輔1、浅野 種正1、岡田 龍雄1 (1.九州大シス情)