11:30 〜 11:45 [19a-S423-10] ポイント・アレイ方式を用いた高分解能マスクレス露光の評価 〇北山 侑司1、竹田 宣生3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.ミニマルファブ技術研究組合、2.産総研、3.(株)大日本科研)