11:15 〜 11:30
〇三ケ原 孝則1,2、三浦 典子1、石田 夕起2、伊藤 孝宏3、池田 伸一2、羽深 等4、クンプアン ソマワン2、原 史郎2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.オリエンタルモーター、4.横浜国立大学)
三ケ原 孝則
発表者・著者、共著者
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月19日(土) 09:00 〜 12:30 S423 (南4号館)
11:15 〜 11:30
〇三ケ原 孝則1,2、三浦 典子1、石田 夕起2、伊藤 孝宏3、池田 伸一2、羽深 等4、クンプアン ソマワン2、原 史郎2 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.オリエンタルモーター、4.横浜国立大学)