16:00 〜 18:00 [19p-P12-16] 二層InSiO薄膜トランジスタの水素還元とオゾン酸化効果 〇木津 たきお1、相川 慎也2、生田目 俊秀1、塚越 一仁1 (1.物材機構、2.工学院大)