16:00 〜 18:00 [19p-P12-4] UHVスパッタ法により成長したZnO単結晶層のアニール処理 (Ⅰ) 〇羽鳥 翼1、佐久間 大樹1、松久 健司1、渡邊 和樹1、水野 愛1、安藤 毅1、篠田 宏之1、六倉 信喜1 (1.東京電機大工)