16:00 〜 18:00 [19p-P6-2] 円筒型ターゲットを用いた高周波磁化プラズマスパッタによるAZO薄膜の低温合成 〇大津 康徳1、住山 貴史1、山口 真依1、田原 竜夫2、本村 大成2 (1.佐大院工、2.産総研)