09:30 〜 11:30 [20a-P1-1] 極低温下におけるPZT薄膜のリーク電流特性 〇(M1)畠 希1、佐々木 敏夫2、橋爪 洋一郎1、中嶋 宇史1、岡村 総一郎1 (1.東理大理、2.東北大金研)