09:30 〜 11:30 [20a-P1-5] BIT系非鉛圧電材料のスパッタ薄膜形成と特性評価 〇水嵜 英明1、米久保 荘1、工藤 賢一1、西野入 隆2、奥冨 衛2、児玉 泰史2、水越 健輔2、平林 明2 (1.長野県工技セ、2.セラテックジャパン)