09:00 〜 09:15 [20a-S221-1] Siピラーの酸化におけるミッシングSiとSi放出機構の拡張 〇影島 博之1,4、白石 賢二2,4、遠藤 哲郎3,4 (1.島根大、2.名古屋大、3.東北大、4.JST-ACCEL)