宋宇振

→ Google ScholarでWoojin Songを検索

発表者・著者、共著者

2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S221 (南2号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.3 絶縁膜技術

[20a-S221-1~12] 13.3 絶縁膜技術

10:45 〜 11:00

▲ [20a-S221-7] Thermodynamic Control of GeO₂ Suppression in SiGe Oxidation by p_O2 and Temperature Manipulation

〇(D)宋宇振¹、鳥海明¹ (1.東大院工)