高橋葵

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発表者・著者、共著者

2016年3月20日(日) 09:00 〜 12:15 S423 (南4号館)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[20a-S423-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

10:15 〜 10:30

[20a-S423-6] スペース赤外線望遠鏡における波面補正のための極低温用可変形鏡の開発：実証実験について

〇(M2)高橋葵¹、塩谷圭吾²、櫨香奈恵²、Paul Bierden³、Steven Cornelissen³、Charlie Lam³、Michael Feinberg³ (1.総研大、2.JAXA宇宙研、3.BMC)