10:00 〜 10:15 △ [20a-W321-5] レーザー駆動EUV光による物質アブレーションにおけるイオンエネルギーと価数診断 〇(M1)出口 亮1、田中 のぞみ1、和田 直1、砂原 淳2、余語 覚文1、西村 博明1 (1.阪大レーザー研、2.レーザー総研)