14:30 〜 14:45 △ [20p-H113-2] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(2)-水素に対する注入領域の捕獲能力- 〇奥山 亮輔1、廣瀬 諒1、柾田 亜由美1、門野 武1、古賀 祥泰1、奥田 秀彦1、栗田 一成1 (1.SUMCO)