13:15 〜 13:30 [20p-H137-1] 高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法を用いた高強度・サイズ選別ナノクラスターイオン源の開発 〇角山 寛規1,2、張 初航2、山本 宏晃3、戸名 正英3、塚本 恵三3、中嶋 敦1,2,4 (1.慶大理工、2.JST-ERATO、3.(株) アヤボ、4.慶應KiPAS)