16:00 〜 18:00 [20p-P14-5] 薄膜太陽電池応用に向けた電気化学インピーダンス法による堆積時のスパッタダメージの定量化 〇(M1)中井 洋志1、坂倉 秀徳1、川出 大祐1、Hüseyin Sarı2、板垣 昌幸1、杉山 睦1 (1.東京理科大学 理工/総研、2.アンカラ大学)