15:30 〜 15:45 [20p-S421-8] MoS2 FETの電気特性を向上させるための熱処理プロセスの検討 〇佐野 宏亮1、足立 薫彦1、下川 慶久1、高橋 綱己1,2、内田 建1,2 (1.慶應大理工、2.JST CREST)