09:30 〜 11:30 [21a-P8-4] Ion Beam Assist法を用いたa-Si:H膜への過剰水素添加に関する研究 〇(M2)美山 和樹1、大津 宗一郎2、小野 貴寛2、久保田 弘1、橋新 剛2、吉岡 昌雄2 (1.熊大院自然科学、2.熊大工)