10:00 〜 10:15 [21a-W833-5] 導波路結合型SSPDの作製プロセスの検討 〇和木 健太朗1,2、山下 太郎2、井上 振一郎2,3、三木 茂人2、寺井 弘高2、生田 力三1、山本 俊1、井元 信之1 (1.阪大院基礎工、2.情通機構、3.JSTさきがけ)