18:45 〜 19:00 [21p-H103-21] エレクトロクロミック特性を有するニッケル化合物の水蒸気を原料とした高速反応性スパッタリング 〇奈良井 哲1、若松 央暉2、山内 駿2、釘宮 敏洋1、阿部 良夫2 (1.神戸製鋼所、2.北見工大)