13:30 〜 13:45 [21p-H112-2] GaSb基板上表面酸化膜の純水水洗処理時間依存性 〇苫米地 秀一1、奥村 滋一1、鈴木 僚1、松倉 祐輔1、今 純一1、西野 弘師1 (1.(株)富士通研究所)