15:00 〜 15:15 △ [21p-H112-7] MOVPE 成長GaAs/Ge/Si 構造のアニールによる結晶品質の向上 〇中尾 亮1,2、荒井 昌和1,2、山本 剛1、松尾 慎治1,2 (1.NTT先端集積デバイス研、2.ナノフォトニクスセンタ)