16:45 〜 17:00 [21p-H113-14] フィードバック冷却によるマイクロ片持ち梁の熱振動制振の限界 〇鐘ヶ江 力1、鍛治 元晴2、高城 亮馬2、河村 良行1,2 (1.福岡工大院工、2.福岡工大)