13:30 〜 15:30 [21p-P10-15] アルカリ土類金属によるSi及び4H-SiCの増殖酸化 〇村岡 幸輔1、瀬崎 洋1,2、石川 誠治1,2、前田 智徳1,2、吉川 公麿1、黒木 伸一郎1 (1.広島大学ナノデバイス、2.フェニテックセミコンダクター)