16:00 〜 18:00 [21p-P15-16] 熱拡散方向に基づいた接合部可視化手法の開発 〇光田 浩樹1、中尾 敏之1、渡辺 正浩1、芹川 滋2、熊沢 豊2、加藤 洋史2 (1.日立研開、2.日立ハイテクファインシステムズ)