16:00 〜 18:00 [21p-P17-10] CVD法によるMnOx拡散バリア層の形成に伴うポーラスSiOCHへのMn拡散 〇小出 紘之1、王 昊1、安藤 大輔1、須藤 祐司1、小池 淳一1 (1.東北大工)