16:00 〜 18:00
〇小西 敏文1、山根 大輔2,4、佐布 晃昭1、年吉 洋3,4、曽根 正人2,4、益 一哉2,4、町田 克之1,2,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)
小西 敏文
発表者・著者、共著者
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
16:00 〜 18:00
〇小西 敏文1、山根 大輔2,4、佐布 晃昭1、年吉 洋3,4、曽根 正人2,4、益 一哉2,4、町田 克之1,2,4 (1.NTT-AT、2.東工大、3.東大、4.JST-CREST)