16:00 〜 18:00
〇小池 正浩1,2、臼田 宏治1,2、鎌田 善己1,2、森 貴洋2,3、前田 辰郎2,3、手塚 勉1,2 (1.東芝研開セ、2.産総研GNC、3.産総研)
小池 正浩
発表者・著者、共著者
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
- 一般セッション(ポスター講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術
2016年3月21日(月) 16:00 〜 18:00 P17 (屋内運動場)
16:00 〜 18:00
〇小池 正浩1,2、臼田 宏治1,2、鎌田 善己1,2、森 貴洋2,3、前田 辰郎2,3、手塚 勉1,2 (1.東芝研開セ、2.産総研GNC、3.産総研)