09:30 〜 11:30 [22a-P6-17] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN膜の構造変化と密着性 〇野間 正男1、山下 満2、江利口 浩二3、長谷川 繁彦4 (1.神港精機株式会社、2.兵庫県立工業技術センター、3.京大院工、4.阪大産研)