10:45 〜 11:00
〇嶋林 正晴1、栗原 一彰2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.IMEC/Toshiba)
嶋林 正晴
発表者・著者、共著者
2016年3月22日(火) 09:00 〜 12:45 W611 (西6号館)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.3 プラズマ成膜・表面処理
2016年3月22日(火) 09:00 〜 12:45 W611 (西6号館)
10:45 〜 11:00
〇嶋林 正晴1、栗原 一彰2、佐々木 浩一1 (1.北大工、2.IMEC/Toshiba)