14:00 〜 14:15 △ [22p-S222-7] 溶液法で作製したIGZO薄膜のUV照射による不活性化と熱による回復 〇(B)落合 祐輔1、陳 東京1、森本 貴明1、福田 伸子3、大木 義路1,2 (1.早大先進理工、2.早大材研、3.産総研 FLEC)