13:45 〜 14:00 [22p-S621-3] 【注目講演】フォトリソグラフィで作製したQ値100万を越えるシリコンフォトニック結晶ナノ共振器 〇芦田 紘平1、岡野 誠2、大塚 実2、関 三好2、横山 信幸2、越野 圭二2、森 雅彦2、高橋 和1 (1.大阪府大院工、2.産総研)