〇宮脇 淳¹、狩野 諒²、菅 洋志²、久保 利隆¹、安藤 淳¹、高橋 賢³、新堀 俊一郎³、清水 哲夫¹ (1.産総研、2.千葉工大、3.三友製作所)

〇久保田 智広¹、菊地 良幸²、伊藤 寿³、久保 百司³、寒川 誠二^1,4 (1.東北大流体研、2.東京エレクトロン(株)、3.東北大金研、4.東北大WPI-AIMR)