[19a-H121-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[19a-H121-7] 【講演奨励賞受賞記念講演】 X 線マイクロ回折を用いた 3 次元逆格子マップ解析による窒化物半導体結晶構造評価

〇鎌田 祥平¹、竹内 正太郎¹、ディンタン カン¹、三宅 秀人²、平松 和政²、今井 康彦³、木村 滋³、酒井 朗¹ (1.阪大基礎工、2.三重大院工、3.JASRI/ SPring-8)

キーワード：３次元逆格子マップ、窒化物半導体、X線マイクロ回折

これまで我々は、X線マイクロ回折法により、周期溝加工基板上の窒化物半導体厚膜に対して、周期溝やナノボイド等の特異構造が誘発する局所領域の歪や格子面傾斜・回転等の3次元的結晶構造解析を行ってきた。今回、一方向からのX線入射で取得したCCDカメラの画像データ群から、3次元のRSMの描画を可能とするデータ解析プログラムを開発した。本報告では、窒化物半導体結晶に対する3次元RSM解析による格子面傾斜・回転を定量的に評価し、3次元RSM解析の特徴とその利点を議論する。