[19a-P1-1~17] 7 ビーム応用（ポスター）

[19a-P1-3] プラズマ電位制御型大電力パルススパッタによるMo錐状陰極構造の作製

〇成田 智基¹、大家 渓¹、中野 武雄¹、長尾 昌善²、大崎 壽² (1.成蹊大理工、2.産総研)

キーワード：スパッタリング、プラズマ電位、スピント型エミッタ