[19a-P1-1~17] 7 ビーム応用（ポスター）

[19a-P1-6] XANAMによるAu/SiOx試料表面でのX線誘起現象の1次元顕微分析

〇鈴木 秀士¹、向井 慎吾²、田 旺帝³、野村 昌治⁴、朝倉 清高² (1.名大院工、2.北大触媒研、3.ICU、4.KEK-PF)

キーワード：X-ray、imaging、NC-AFM

表面／界面のナノ構造を個々に識別しながら、元素・化学状態を特定する手法として「X線支援原子間力顕微鏡(XANAM)」を開発してきた。これまでスペクトル測定・解析結果を拡張し、今回はXANAMの元素イメージング手法としての空間分解能評価の検討を行った。力場スペクトルを試料表面の1次元方向に位置を変えながら測定した結果について、各力成分解析を含めて報告する。