[19a-W321-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[19a-W321-9] シリコンナノワイヤ太陽電池のキャリア収集特性の改善

〇加藤 慎也¹、阿部 祐介²、白柳 裕介²、黒川 康良³、宮島 晋介⁴、小長井 誠^2,5 (1.名工大院工、2.科学技術振興機構、3.名大院工、4.東工大院理工、5.東京都市大学総研)

キーワード：シリコンナノワイヤ、太陽電池

シリコンナノワイヤ(SiNW)薄膜は光閉じ込め効果を有するため、太陽電池の薄膜化が期待できる。特に無電解銀メッキ法とMetal assisted chemical etching(MAE)法で作製したSiNW薄膜は長さ10 umで太陽光をほとんどロスなく吸収することが可能となる。そこで10 um以上の長さのSiNW薄膜をSi基板上に作製し太陽電池の特性評価を行った。