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[19p-H112-6] タンタル酸リチウム結晶中の転位の観察
キーワード:タンタル酸リチウム、転位
Cz法で育成したタンタル酸リチウム(LT)単結晶内に存在する転位を、透過X線トポグラフ法、及びTEMを用いて観察し、すべり系を求めた。加えて、シミュレーションによって、育成中のLT結晶内の応力、歪分布を求め、各すべり系におけるシュミット因子、せん断応力を計算した。それらの結果から、LT結晶育成における転位の発生メカニズムとそれらの育成方位依存性に関して考察した。