[19p-H113-1~9] 6.5 表面物理・真空

[19p-H113-1] ナノピペットにおける希ガスの真空コンダクタンス～その2～

〇高見 知秀¹、後藤 忠彦²、高桑 雄二² (1.工学院大、2.東北大多元研)

キーワード：ナノピペット、真空コンダクタンス、ガラスキャピラリ

我々は、ガラスナノピペットにおける希ガスの真空コンダクタンスを計測して、先端の内径などを計測する手法を開発している。以前の報告では、ナノピペットの太い方から先端へ希ガスを流していたが、真空槽内の塵などでピペットが詰まることがあった。そこで本報告では逆方向に希ガスを流すように計測法を改良した。更に、下流の真空槽の排気を止めて溜め込み式にして積算することで微小流量計測を可能にした。