[19p-H113-1~9] 6.5 表面物理・真空

[19p-H113-2] TOF-SIMSによる耐熱鋼中の微量元素分布の観測

〇渡邉 騎通¹、間宮 広明¹、阿部 富士雄²、大久保 雅隆³、北澤 英明¹ (1.物材機構 量子ビーム、2.物材機構 材料信頼性、3.産総研 エレクトロニクス・製造領域)

キーワード：TOF-SIMS、フェライト系耐熱鋼、微量元素

火力発電プラントの発電効率を高めるためには、高温・高圧環境で長時間使える耐熱鋼の研究開発が必用である。耐熱鋼に、ボロン、窒素などの微量軽元素を添加すると、高温・高圧環境下での鋼材の機械的特性が向上することが知られている。我々は、TOF-SIMSを用いて、耐熱鋼中の微量元素が、どのように分布しているのかを観測し、微量元素添加による鋼材の機械的特性向上のメカニズムの解明に取り組んでいる。