[19p-H137-1~17] 7.1 X線技術

[19p-H137-17] 協同的トムソン散乱計測によるLPP-EUV光源プラズマ診断

〇戸室 啓明¹、柳田 達哉¹、神家 幸一郎¹、スマン ゲオルグ¹、和田 靖典¹、國島 正人¹、児玉 健¹、富田 健太郎²、佐藤 祐太²、江口 寿明²、築山 晶一²、内野 喜一郎² (1.ギガフォトン株式会社、2.九大総理工)

キーワード：EUV光源、レーザー生成プラズマ、分光

ギガフォトンではCE改善のための産学連携の共同研究を積極的に推進しており、そのひとつが協同的トムソン散乱計測システムの開発である。この方法を使用した計測システムの開発により、それまで困難であった、サイズ<1 mm、寿命<100 ns程度のSnプラズマのパラメータ診断が可能となった。
ギガフォトンではEUV発光メカニズムを解明し、プリパルス技術を最適化することを目的として、前述のシステムにより、Snプラズマのn_e、T_eの空間分布とその時間発展の計測、及びその入射レーザエネルギーとの相関を検証した。本件はその結果を報告する予定である。