[19p-P1-1~74] 10 スピントロニクス・マグネティクス（ポスター）

[19p-P1-24] 有機金属分解法を用いた準周期マグノニック結晶の作製

〇國原 一眞¹、本地 泰彦¹、中山 和之²、冨田 知志¹、細糸 信好¹、柳 久雄¹ (1.奈良先端大、2.福岡大)

キーワード：マグノニック結晶、準周期、有機金属分解法

本研究は、比較的容易で低コストである有機金属分解法(MOD法)によって作製したYIG多結晶薄膜で二次元マグノニック結晶を実現することを目的としている。実験ではシリコン基板にレジスト(GL2000-11)をスピンコートし、電子線リソグラフィ(EBL)で直径4μmのドットパターンを描画した。その後、MOD法によってYIGを成膜し、結晶化させることにより空孔構造を持つ二次元マグノニック結晶を作製することを試みた。