[19p-P11-1~14] 12.2 評価・基礎物性

[19p-P11-5] オール印刷ポリイミド静電容量型湿度センサーと
リアルタイム混合ガス制御・計測システムの開発

〇袁 子涵¹、伊東 栄次¹ (1.信州大工)

キーワード：計測システム、ポリイミド、湿度センサー