[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-1] 触媒反応生成高エネルギーH₂Oビームの運動エネルギー評価

〇安井 寛治¹、寺口 祐介¹、田島 諒一¹、玉山 泰宏¹ (1.長岡技科大)

キーワード：触媒反応、ラバールノズル、Siメンブレン圧力センサー

白金ナノ粒子表面で水素と酸素の燃焼反応により生成した高エネルギーH₂Oと有機金属ガスを気相中で反応させ生成したZnOプリカーサを基板に供給するCVD法を考案しa 面サファイア基板上にエピタキシャル膜の成長を試みた結果, 半導体特性を有する高品質なZnO薄膜を得た. 今回高エネルギーH₂Oビームを形成するラバールノズルの構造の最適化を目指してラバールノズルから噴出するH₂Oビームのエネルギー状態をMEMS圧力センサーによって評価を試みたので報告する.