[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-12] 分子プレカーサー法を用いたIn-Ga-Mg-O薄膜製作検討

〇高橋 勇貴¹、後藤 良介¹、安野 泰平¹、尾沼 猛儀¹、永井 裕己¹、山口 智広¹、佐藤 光史¹、本田 徹¹ (1.工学院大工)

キーワード：分子プレカーサー法