[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-22] ZnO単結晶の紫外線応答特性に及ぼす過酸化水素処理効果

〇柏葉 安宏¹、安藤 昌広¹、佐久間 実緒¹、川崎 浩司¹、今井 裕司¹、阿部 貴美²、中川 玲²、新倉 郁生²、柏葉 安兵衛²、長田 洋² (1.仙台高専、2.岩手大工)

キーワード：酸化亜鉛、過酸化水素

H₂O₂処理がZnO単結晶の光応答速度に与える効果について述べる。水熱合成法で育成されたZnO単結晶c面基板のO面へ波長約360 nmのUV光を照射し光応答速度を測定した。H₂O₂処理前後の特性を比較した結果，H₂O₂処理前よりも処理後では光電流が減少し，応答速度が向上していた。その原因をエネルギーバンドモデルから説明する。