[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-4] UHVスパッタ法により成長したZnO単結晶層のアニール処理 (Ⅰ)

〇羽鳥 翼¹、佐久間 大樹¹、松久 健司¹、渡邊 和樹¹、水野 愛¹、安藤 毅¹、篠田 宏之¹、六倉 信喜¹ (1.東京電機大工)

キーワード：酸化亜鉛