[19p-P12-1~27] 21.1 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-P12-7] (0001)a-Al₂O₃基板上および(0001)GaNテンプレート上へのIn₂O₃膜のミストCVD成長

〇小林 拓也¹、田沼 圭亮¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀¹、本田 徹¹ (1.工学院大)

キーワード：結晶成長、ミスト CVD